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基礎信息Product information

產(chǎn)品名稱：德爾格 Polytron 3500 電化學式有毒氣體監(jiān)測儀

產(chǎn)品型號：Polytron 3500

產(chǎn)品簡介：

半導體工業(yè)的氣體監(jiān)測專家---德爾格Polytron3500基于裂解原理，用于連續(xù)監(jiān)測環(huán)境中的毒氣如NF3，和氟化物如C4F6, C5F8。Polytron3500變送器集所有必要功能位一體，如氣體采樣，處理和分析。

產(chǎn)品特性Product characteristics

德爾格 Polytron 3500 有毒氣體監(jiān)測儀

半導體工業(yè)的氣體監(jiān)測專家---德爾格Polytron3500基于裂解原理，用于連續(xù)監(jiān)測環(huán)境中的毒氣如NF3，和氟化物如C4F6, C5F8。Polytron3500變送器集所有必要功能位一體，如氣體采樣，處理和分析。

選擇性監(jiān)測

選擇合適的熱解爐內(nèi)部溫度和合適的傳感器，可對三氟化氮 NF3 或 氟化/氯化有機化合物（如 C4F6、C5F8 和其它 PFC）進行選擇性監(jiān)測。

使用方便

該熱解器基本無需操作上的設置或調(diào)整。 4 至 20 mA 輸出信號外加特殊狀態(tài)信號可直接連至另一系統(tǒng)做進一步信號處理。

安裝快速而簡單

分體式設計理念——由安裝基座和變送器主機構(gòu)成，可以節(jié)省時間和成本。基座可以預先安裝。 設備試運轉(zhuǎn)時，主機可通過插鎖方式與基座連接，預熱過后即可投入運行。

測量結(jié)果可靠

采用zui前沿電子技術以及全屏蔽金屬外殼，使得德爾格變送器具有的抗射頻干擾性能。內(nèi)置泵和高溫裂解爐持久耐用，能夠長期可靠運行。分流系統(tǒng)采用無干擾測量模式（針對常規(guī)流速0.5-1.5l/min）。